スペクトル処理による発光分光による気体種の検出

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：川口義雄 , 小野誠 , 大崎勝真 , 坪倉道明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-048406
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241646
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】専門家の介入を必要とせずに、発光分光によって検査されている気体混合物の組成を自動的かつ迅速に得ることを可能にする。【解決手段】発光分光によって混合物中の気体種を検出する方法であって、分析対象の気体混合物に存在するプラズマ4によって放射される光線を利用し、測定システム20を使用して、プラズマ4によって放射された前記光線の生の光スペクトルを取得し、生の光スペクトルを基準光スペクトルのライブラリと比較し、該方法は、剪定光スペクトルを生成するステップであって、生の光スペクトルにおいて、所定の形状基準に対応する有効形状を示すスペクトルのゾーンのみを利用するステップを含み、続いて前記剪定スペクトルを基準光スペクトルのライブラリと比較する方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

分析対象の気体混合物に存在するプラズマ(4)によって放射される光線を利用し、測定システム(20)を使用して、プラズマ(4)によって放射された前記光線の生の光スペクトルを採取し、生の光スペクトルを基準光スペクトルのライブラリと比較する、発光分光によって混合物中の気体種を検出する方法であって、該方法は、剪定光スペクトルを生成するステップであって、生の光スペクトルにおいて、所定の形状基準に対応する有効形状を示すスペクトルのゾーンのみを利用するステップを含み、続いて前記剪定スペクトルを基準光スペクトルのライブラリと比較する方法。

IPC (2件)：

G01N21/71 , G01J3/443

FI (2件)：

G01N21/71 , G01J3/443

Fターム (13件)：

2G020BA12 , 2G020CA01 , 2G020CC01 , 2G020CD04 , 2G020CD36 , 2G020CD37 , 2G043CA02 , 2G043EA06 , 2G043GA07 , 2G043GB07 , 2G043HA05 , 2G043JA01 , 2G043NA06

引用特許：

出願人引用 (6件)

欧州特許出願第0584676号明細書
米国特許第5014217号明細書
米国特許第5658423号明細書

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審査官引用 (12件)

半導体製造装置の自動操作方法及びシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-229688 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
スラグ塩基度の決定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-028146 出願人：川崎製鉄株式会社
スペクトル比較方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-287034 出願人：ザ・パーキン・エルマー・コーポレイション

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