特許

J-GLOBAL ID：202103014466892108

ナノ結晶膜の製造方法

発明者： 足立 修一郎 ,  北川 雅規 ,  渡辺 精一 ,  ジェーム メルバート ,  ▲高▼橋 優樹 ,  水野 潤一
出願人/特許権者： 昭和電工マテリアルズ株式会社 ,  国立大学法人北海道大学
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  平野 裕之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2019003749
公開番号（公開出願番号）：WO2019-151508
出願日： 2019年02月01日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

ナノ結晶膜の製造方法は、水中に浸された金属部材の表面に光を照射することにより、所定のパターンを有するナノ結晶膜を金属部材の表面に形成する光照射工程を備え、ナノ結晶膜に含まれるナノ結晶は、酸化物及び水酸化物のうち少なくとも一種を含み、酸化物は、金属部材に由来する金属の酸化物であり、水酸化物は、金属部材に由来する金属の水酸化物である。

請求項（抜粋）：

水中に浸された金属部材の表面に光を照射することにより、所定のパターンを有するナノ結晶膜を前記金属部材の表面に形成する光照射工程を備え、 前記ナノ結晶膜に含まれるナノ結晶は、酸化物及び水酸化物のうち少なくとも一種を含み、 前記酸化物は、前記金属部材に由来する金属の酸化物であり、 前記水酸化物は、前記金属部材に由来する金属の水酸化物である、 ナノ結晶膜の製造方法。

IPC (7件)：

C23C 22/73 ,  B01J 35/02 ,  B01J 37/34 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/368

FI (7件)：

C23C22/73 Z ,  B01J35/02 J ,  B01J37/34 ,  H01L21/288 M ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/78 618B ,  H01L21/368 Z

Fターム (51件)：

4G169AA03 ,  4G169AA08 ,  4G169AA09 ,  4G169BA13A ,  4G169BA14A ,  4G169BA48A ,  4G169BB04A ,  4G169DA05 ,  4G169EA08 ,  4G169EB19 ,  4G169EC22X ,  4G169FA01 ,  4G169FB58 ,  4G169HA01 ,  4G169HB06 ,  4G169HD05 ,  4G169HD06 ,  4G169HD24 ,  4K026AA02 ,  4K026AA06 ,  4K026AA07 ,  4K026AA22 ,  4K026BA08 ,  4K026BB10 ,  4K026CA13 ,  4K026CA14 ,  4K026CA15 ,  4K026DA03 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB36 ,  4M104DD51 ,  4M104FF11 ,  4M104GG05 ,  4M104GG08 ,  4M104GG19 ,  5F053AA50 ,  5F053DD20 ,  5F053FF10 ,  5F053GG02 ,  5F053HH05 ,  5F053JJ01 ,  5F053JJ03 ,  5F053LL02 ,  5F053LL05 ,  5F053LL10 ,  5F053RR05 ,  5F110AA04 ,  5F110GG01 ,  5F110GG14 ,  5F110GG42