エキシマランプユニットおよびエキシマランプ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：藤本信男 , 山田益男 , 重信圭介 , 大井正彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-228609
公開番号（公開出願番号）：特開2018-085266
特許番号：特許第6798275号
出願日： 2016年11月25日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】長尺な管状のエキシマランプと、当該エキシマランプの長手方向に沿って、前記エキシマランプの外周面と対向するように設けられた冷却ガス送風管とよりなり、前記エキシマランプから放射される真空紫外線を透過する外套管内に収容されて使用されるエキシマランプユニットであって、前記冷却ガス送風管には、長手方向に沿って複数の冷却ガス送風口が設けられ、当該冷却ガス送風口の各々は、当該冷却ガス送風口から吐出される冷却ガスが前記エキシマランプの同一の周方向に指向され、かつ、前記エキマランプの周壁に送風される位置に配置されていることを特徴とするエキシマランプユニット。

IPC (2件)：

H01J 61/52 ( 200 6.01) , H01J 65/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01J 61/52 Z , H01J 65/00 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

光照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-279747 出願人：ウシオ電機株式会社

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