光を検出するための装置と方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 森田拓 , 前川純一 , 二宮浩康 , 上島類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-544929
特許番号：特許第6835732号
出願日： 2016年02月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】顕微鏡において使用するための、光(16c)を検出するための装置であって、前記装置は、共焦点ピンホール(18)と、当該共焦点ピンホール(18)上で結像される検出光ビーム(16)を形成しながら、試料(15)を照明するための照明光ビームを形成するための手段と、少なくとも1つのシリコン光電子倍増管(SiPM)と、光学系(23)とを備えており、前記シリコン光電子倍増管(SiPM)は、複数の単一光子アバランシェダイオード(SPAD)(3)のアレイ(4)から形成されている検出面(22)を有している、装置であって、前記光学系(23)は、フラットトップ光学系(24)として形成されており、前記フラットトップ光学系(24)は、前記検出面(22)の全体が一定の強度の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように、前記光(16c)を成形し、前記フラットトップ光学系(24)は、前記共焦点ピンホール(18)と前記シリコン光電子倍増管(SiPM)との間に配置されていることを特徴とする、装置。

IPC (5件)：

H01L 31/0232 ( 201 4.01) , H01L 31/107 ( 200 6.01) , G02B 21/06 ( 200 6.01) , G02B 5/18 ( 200 6.01) , G02B 1/11 ( 201 5.01)

FI (5件)：

H01L 31/02 D , H01L 31/10 B , G02B 21/06 , G02B 5/18 , G02B 1/11

引用特許：

審査官引用 (6件)

光検出装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-155433 出願人：ライカマイクロシステムスツェーエムエスゲーエムベーハー
欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-102819 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
多光子イメージ化装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-542854 出願人：アンスティテュ・キュリ, サーントル・ナシヨナル・ドゥ・ラ・ルシェルシェ・シヤンティフィック

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