フェリチン用リンス液

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：辻永和徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-160097
公開番号（公開出願番号）：特開2021-038310
出願日： 2019年09月03日
公開日（公表日）： 2021年03月11日
要約：

【課題】基板の外周部、側面および裏側に形成されたフェリチン層を有効に除去するフェリチン用リンス液、およびリンス方法を提供する。【解決手段】リンス液において、アルカリ水溶液を使用する。好ましくはアンモニア水、NaOH、KOH、Mg(OH)2、Ca(OH)2の水溶液を使用する。水溶液は、pH範囲は11-12であり、重量%で0.085から8.5%である。より好ましくは0.17から5.1%、より好ましくは0.85から2.5%である。方法は、フェリチンを酢安で希釈した溶液(フェリチン濃度1〜50 mg/ml)を基板の上に滴下し、基板を回転させることで、酢安を蒸発させた後、pHのアルカリ水溶液をリンス液として使用し、基板の外周部分、側面および裏面をリンスする。リンスの条件としては典型的には、回転数は2000〜5000rpm、リンス液流量は1〜50ml/m、リンス時間は5〜10秒である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルカリ性水溶液である、フェリチン用リンス液。

IPC (3件)：

C11D 7/04 , H01L 21/304 , H01L 21/308

FI (4件)：

C11D7/04 , H01L21/304 647Z , H01L21/304 643A , H01L21/308 G

Fターム (33件)：

3B201AA01 , 3B201AB34 , 3B201BB21 , 3B201BB92 , 4H003BA12 , 4H003DA15 , 4H003DB01 , 4H003DC04 , 4H003EA23 , 4H003ED02 , 4H003FA28 , 5F043AA40 , 5F043BB27 , 5F043BB30 , 5F157AA12 , 5F157AA14 , 5F157AA15 , 5F157AA36 , 5F157AA42 , 5F157AB02 , 5F157AB33 , 5F157AB90 , 5F157AC01 , 5F157AC23 , 5F157BB22 , 5F157BB24 , 5F157BC07 , 5F157BE12 , 5F157BE32 , 5F157BE33 , 5F157BE35 , 5F157BE57 , 5F157DB03

引用特許：

審査官引用 (6件)

クロマトグラフィー用多孔質体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-107666 出願人：ジーエルサイエンス株式会社
特表平4-507255
微粒子固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-002578 出願人：松下電器産業株式会社

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