特許

J-GLOBAL ID：202103015730076663

成膜装置、保持具、および、これらを用いた電子部品の製造方法

発明者： 清水 孝太郎 ,  廣田 雅樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-151804
公開番号（公開出願番号）：特開2018-021220
特許番号：特許第6798182号
出願日： 2016年08月02日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 成膜室と、 前記成膜室の内部に位置する成膜源と、 前記成膜室内において被成膜物が前記成膜源の上方を前記成膜源と対向しつつ通過するように被成膜物を搬送する搬送部と、 水平方向に対して角度αだけ傾いて位置するように前記搬送部に取り付けられ、被成膜物を収容して保持する複数の収容部を有する保持具とを備え、 前記複数の収容部の各々は、略矩形状の内周壁を有し、 被成膜物は、前記保持具の傾きにより、前記複数の収容部の各々の内部において前記内周壁の1つの角部に偏って位置して前記内周壁と接しており、 前記内周壁は、互いに対向する1対の第1辺および互いに対向する1対の第2辺を含み、 前記保持具は、 前記内周壁を構成する枠部材と、 前記枠部材と隣接したマスキング部材とを含み、 前記枠部材は、平面視にて矩形状の外形を有しており、 前記枠部材の外形は、互いに平行な1対の第1辺と、互いに平行な1対の第2辺とから構成されており、 前記枠部材の第1辺は、前記搬送部の搬送方向に沿って延在しており、 前記内周壁の第2辺が前記枠部材の第2辺に対して角度θをなすように前記複数の収容部が設けられており、 前記角度θは、前記角度αより大きい、成膜装置。

IPC (2件)：

C23C 14/50 ( 200 6.01) ,  H01G 4/30 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C23C 14/50 F ,  C23C 14/50 K ,  H01G 4/30 311 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電子部品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-159489   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平4-173974
  

審査官引用 (2件)

• 電子部品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-159489   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平4-173974