特許
J-GLOBAL ID：202103016242904812
フィルムチャンバ内の非圧縮性テスト対象のグロスリーク測定
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻田 朋子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-532160
特許番号：特許第6837065号
出願日： 2016年12月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも1つの可撓性壁領域を有し、圧力センサ(30)と、真空ポンプ(26)と、較正バルブ(34)を経由して較正容積(37)を包んでいる較正チャンバ(36)とに送ガス方式で接続されるフィルムチャンバ(12)における少なくとも部分的に非圧縮性のテスト対象(18)のグロスリーク測定用の方法であって、
前記フィルムチャンバ(12)を排気する工程と、
前記排気が完了した後に前記フィルムチャンバ(12)内の圧力曲線の進行を測定する工程と、
前記圧力進行の前記測定中に、前記較正容積(37)を前記フィルムチャンバ(12)の内容積に送ガス方式で接続し、前記圧力が前記フィルムチャンバ(12)への前記送ガス接続が確立される前及び前記送ガス接続が確立した状態で測定され、前記フィルムチャンバ(12)への前記接続前の前記較正チャンバ(36)における前記圧力が前記フィルムチャンバ(12)における前記圧力より高い又は低い工程と、
を備え、
テスト対象(18)を含まない空のフィルムチャンバ(12)の場合、前記送ガス接続が確立される前の前記圧力と前記フィルムチャンバ(12)への送ガス接続を伴う前記圧力との間の圧力差Δpleerは、テスト対象(18)が前記フィルムチャンバ(12)に存在する場合の対応する圧力差ΔpPruflingと比較されることを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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