ガスセンサアレイ、ガス測定装置、及びガス測定方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠重 , 伊東忠彦 , 加藤隆夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-137037
公開番号（公開出願番号）：特開2018-009814
特許番号：特許第6786918号
出願日： 2016年07月11日
公開日（公表日）： 2018年01月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ヒータと第1の感ガス材料の第1センサ素子とを有し、第1流路に配置される第1のガスセンサと、第2の感ガス材料の第2センサ素子を有し、前記第1流路に接続される第2流路に配置される第2のガスセンサと、を有し、前記ヒータと前記第1センサ素子の間に絶縁膜が配置され、前記第1センサ素子の表面と前記第1流路の対向する壁面との間隔が一定サイズ以下に設定されており、前記ヒータの加熱により前記第1流路に上昇気流を発生し、前記第2のガスセンサは、前記ヒータによる加熱で前記第1のガスセンサから離脱した被測定ガスの分子を検出することを特徴とするガスセンサアレイ。

IPC (1件)：