特許
J-GLOBAL ID：202103016668363509
検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-154776
公開番号（公開出願番号）：特開2018-022841
特許番号：特許第6789514号
出願日： 2016年08月05日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 入力光のパワーを検出するための検出装置であって、
受光面を有し、前記受光面で受光した前記入力光のパワーに応じた電気信号を出力するように構成された受光モジュールと、
外部からの入力光をコリメートして前記受光面に案内するように構成された光学レンズと、
前記光学レンズと前記受光面との間の前記入力光の経路に設けられ、前記受光面における前記入力光のビーム径を低減するように構成された少なくとも一つの集光部と、
を備え、
前記光学レンズは、外部からの前記入力光をコリメートし、当該入力光を前記光学レンズの前記受光面に対向する面に設けられた分岐膜で透過光と反射光とに分離し、前記透過光を前記受光面に案内するように構成され、
前記少なくとも一つの集光部は、前記光学レンズの前記受光面に対向する面に前記分岐膜に隣接して形成された集光部を含み、
前記分岐膜に隣接して形成された集光部は、前記受光面を向く凸状の表面を有し、前記表面を通過して前記受光面に向けて伝播する前記透過光のビーム径が前記表面から離れるにつれて小さくなるように構成された集光レンズである検出装置。
IPC (3件)：
H01L 31/0232 ( 201 4.01)
, G01J 1/04 ( 200 6.01)
, G01J 1/02 ( 200 6.01)
H01L 31/02 D
, G01J 1/04 A
, G01J 1/02 M
