特許
J-GLOBAL ID：202103017298392624

グラフェンの生成方法

発明者：
井福 亮太

井福 亮太 について

, 
松本 貴士

松本 貴士 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-171297
公開番号（公開出願番号）：特開2018-035047
特許番号：特許第6793503号
出願日： 2016年09月01日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属触媒が配置されたチャンバ内に炭素含有ガスを供給することにより、前記金属触媒の表面にグラフェンを成長させる第1の成長ステップと、 表面に前記グラフェンが成長した前記金属触媒が配置されたチャンバ内に酸素ガスおよび不活性ガスの混合ガスを供給することにより、前記酸素ガスの分子が前記金属触媒の原子間に入り込み、前記グラフェンを構成しない余分な前記炭素含有ガスが前記金属触媒から除去され、前記金属触媒を再度活性化させる活性化ステップと、 前記チャンバ内に水素ガスを含むガスを供給することにより、前記金属触媒の表面を清浄化する清浄化ステップと、 再度活性化した前記金属触媒が配置されたチャンバ内に前記炭素含有ガスを供給することにより、前記金属触媒の表面にグラフェンを再成長させる第2の成長ステップと を含むことを特徴とするグラフェンの生成方法。
IPC (4件)：
C01B 32/184 ( 201 7.01) ,  B01J 23/755 ( 200 6.01) ,  C23C 16/26 ( 200 6.01) ,  C23C 16/56 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C01B 32/184 ,  B01J 23/755 M ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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