特許
J-GLOBAL ID:202103017657527638
濃度検出装置と濃度検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
堀田 実
, 野村 俊博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-084238
公開番号(公開出願番号):特開2021-179345
出願日: 2020年05月13日
公開日(公表日): 2021年11月18日
要約:
【課題】検査対象物内の各深さ又は所望の特定深さにおける対象成分の濃度を求める。【解決手段】濃度検出装置10は、検査対象物1の表面2へ中性子線を照射する中性子源3と、検査対象物1において中性子線により発生したガンマ線のうち対象成分に由来の特定ガンマ線を検出して特定ガンマ線の検出量を求めるガンマ線検出装置5と、検出量に基づいて検査対象物1における各深さ又は特定深さの対象成分の濃度を求める濃度算出装置7とを備える。検査対象物1を仮想的に複数の層1a,1b,1cに区分した場合に、複数の層における対象成分の複数の濃度と検出量との関係を表す関係式が、特定ガンマ線の種類毎に又は検出条件毎に定められている。濃度算出装置7は、各種類又は各検出条件に対してガンマ線検出装置5が求めた検出量を、この種類又は検出条件に対応する関係式に適用することにより連立方程式を生成し、連立方程式を解くことにより、各深さ又は特定深さにおける層の対象成分の濃度を算出する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
検査対象物の表面へ中性子線を照射する中性子源と、
前記検査対象物において前記中性子線により発生したガンマ線のうち対象成分に由来の特定ガンマ線を検出して、該特定ガンマ線の検出量を求めるガンマ線検出装置と、
前記検出量に基づいて、検査対象物における各深さ又は特定深さの対象成分の濃度を求める濃度算出装置と、を備え、
検査対象物を仮想的に複数の層に区分した場合に、前記複数の層における対象成分の複数の濃度と前記検出量との関係を表す関係式が、特定ガンマ線の種類毎に又は検出条件毎に予め定められて前記濃度算出装置に保持されており、
前記濃度算出装置は、各前記種類又は各前記検出条件に対してガンマ線検出装置が求めた前記検出量を、当該種類又は検出条件に対応する前記関係式に適用することにより連立方程式を生成し、該連立方程式を解くことにより、各深さ又は特定深さにおける前記層の前記濃度を算出する、濃度検出装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (6件):
2G001AA04
, 2G001CA02
, 2G001FA24
, 2G001KA01
, 2G001LA03
, 2G001NA21
引用特許:
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