特許

J-GLOBAL ID：202103017847314703

圧力センサ、圧力センサの製造方法

発明者： 豊島 良一
出願人/特許権者： 日本メクトロン株式会社
代理人 (1件)： 右田 俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-078208
公開番号（公開出願番号）：特開2019-184509
特許番号：特許第6839127号
出願日： 2018年04月16日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電極と、前記電極に対向して配置される導電膜と、を有するセンサユニットが前記電極に対する前記導電膜の配置方向に複数重ねられ、 複数の前記センサユニットに電気信号を入力する共通の入力配線と、複数の前記センサユニットから電気信号を出力する共通の出力配線と、が形成されている配線シートを有する、圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/20 ( 200 6.01) ,  G01L 5/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 1/20 G ,  G01L 5/00 101 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 抵抗型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-196992   出願人：ニッタ株式会社
• 面圧力センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-191599   出願人：東芝ホクト電子株式会社