特許
J-GLOBAL ID：202103018967211440
少数キャリア寿命評価方法および少数キャリア寿命評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
酒井 昭徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-245153
公開番号（公開出願番号）：特開2018-101651
特許番号：特許第6785642号
出願日： 2016年12月19日
公開日（公表日）： 2018年06月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少数キャリア寿命が評価済みの第2半導体膜にレーザーからレーザー光を照射する第1工程と、
前記第2半導体膜から輻射されたバンド端PL発光の時間積分値を測定する第2工程と、
測定した前記時間積分値と、評価済みの前記少数キャリア寿命とから、前記少数キャリア寿命と前記バンド端PL発光の時間積分値との関係を取得する第3工程と、
前記第1工程から前記第3工程より後、第1半導体膜に、温度、励起レーザーパワーおよび光学系が前記第1工程の前記レーザーと同一のレーザーからレーザー光を照射する第4工程と、
前記第1半導体膜から輻射されたバンド端PL発光の時間積分値を測定する第5工程と、
測定した前記時間積分値と前記関係とから、前記第1半導体膜の少数キャリア寿命を評価する第6工程と、
を含むことを特徴とする少数キャリア寿命評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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