特許
J-GLOBAL ID:202103019203518939
ガラス基板およびそれを備えたディスプレイ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-537406
特許番号:特許第6910299号
出願日: 2016年01月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 薄膜デバイスを製造する方法において、約500°Cから約1500°Cまでの範囲の第1の温度でガラス基板の凸面に少なくとも1つの金属膜を施して、薄膜デバイスを形成する工程、および該薄膜デバイスを約100°C未満の第2の温度に冷却する工程を有してなる方法であって、
冷却後に、前記薄膜デバイスが、約1000マイクロメートル未満の反りを有し、かつ、前記少なくとも1つの金属膜が、銅、シリコン、非晶質シリコン、ポリシリコン、ITO、IGZO、IZO、ZTO、酸化亜鉛、並びにその組合せから選択される、方法。
IPC (9件):
C03C 17/09 ( 200 6.01)
, C03C 17/245 ( 200 6.01)
, G09F 9/00 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H01L 27/32 ( 200 6.01)
, H05B 33/02 ( 200 6.01)
, H05B 33/28 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
FI (9件):
C03C 17/09
, C03C 17/245 A
, G09F 9/00 338
, H05B 33/14 A
, H01L 27/32
, H05B 33/02
, H05B 33/28
, H05B 33/10
, G02B 5/20 101
引用特許: