光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：嶋崎英一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-070632
公開番号（公開出願番号）：特開2019-182668
特許番号：特許第6793676号
出願日： 2018年04月02日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】出発材上にガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法であって、液体状態の有機ケイ素化合物原料とキャリアガスとを気化器に供給する工程と、該気化器において、液体状態の有機ケイ素化合物原料とキャリアガスとを混合し、気化して原料混合ガスに変換する工程と、該原料混合ガスと可燃性ガスとをバーナーに供給し燃焼させ、生成したSiO2微粒子をバーナーから噴出させる工程と、該気化器とバーナーとが同期し一体となって出発材の長手方向に対して平行に移動を繰り返すことで、バーナーから噴出したSiO2微粒子を出発材上に堆積する工程とからなることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。

IPC (1件)：