特許

J-GLOBAL ID：202103020073193887

研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨物の製造方法

発明者： 徳重 伸 ,  中瀬 恵介 ,  柏田 太志 ,  山田 竜也 ,  楢田 洋祐 ,  小池 堅一
出願人/特許権者： 富士紡ホールディングス株式会社
代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-110416
公開番号（公開出願番号）：特開2017-213660
特許番号：特許第6800617号
出願日： 2016年06月01日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 経編又は緯編で構成された編地と、該編地に含侵された樹脂と、を有し、 前記編地の面方向に切断された断面を研磨面として有し、 前記編地を構成する繊維の少なくとも一部が、仮撚糸である、 研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/24 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B24B 37/24 D ,  B24B 37/24 A ,  H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 621 D

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-044489   出願人：富士紡ホールディングス株式会社
• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-157945   出願人：ユニチカ株式会社, 土肥俊郎
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-195906   出願人：東レ株式会社
• 研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-234600   出願人：富士紡ホールディングス株式会社

審査官引用 (4件)

• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-044489   出願人：富士紡ホールディングス株式会社
• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-157945   出願人：ユニチカ株式会社, 土肥俊郎
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-195906   出願人：東レ株式会社
• 研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-234600   出願人：富士紡ホールディングス株式会社