特許
J-GLOBAL ID:202103020681077970
磁性体観察方法および磁性体観察装置
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2019012018
公開番号(公開出願番号):WO2019-182097
出願日: 2019年03月22日
公開日(公表日): 2019年09月26日
要約:
本発明に係る磁性体観察方法は、試料(S)の一領域に励起線(E1)を照射することによって、試料(S)に含まれる磁性元素に特性X線(X1)を放射させる照射工程と、特性X線(X1)に含まれる右円偏光成分および左円偏光成分の強度をそれぞれ検出する検出工程と、右円偏光成分の強度と左円偏光成分の強度との差分を算出する算出工程と、を含んでいる。この差分を参照することで、試料(S)に対する制限が緩く、かつ、磁化の向きまたは磁化の大きさの精密な測定が可能になる。
請求項(抜粋):
磁性体を含む試料における磁化の向き又は磁化の大きさを観察する方法であって、
前記試料に照射されることによって前記磁性体を構成する元素に特性X線を放射させる励起線を前記試料上の一領域に照射する照射工程と、
前記励起線の照射によって前記元素が発した前記特性X線を、円偏光成分の回転方向毎に検出した2つの強度として認識する検出工程と、
前記検出工程において認識された前記2つの強度の差を算出する算出工程と、
を含んでいることを特徴とする磁性体観察方法。
IPC (3件):
G01N 23/225
, H01J 37/252
, H01J 37/244
FI (3件):
G01N23/2252
, H01J37/252 A
, H01J37/244
Fターム (16件):
2G001AA01
, 2G001AA02
, 2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001EA04
, 2G001KA20
, 2G001NA10
, 2G001NA11
, 2G001NA17
, 2G001SA02
, 5C033NN04
, 5C033NN10
, 5C033PP04
, 5C033PP05
前のページに戻る