特許
J-GLOBAL ID：202103020730136767
基板を脱ガスするためのチャンバ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
村山 靖彦
, 実広 信哉
, 阿部 達彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-547428
特許番号：特許第6800237号
出願日： 2016年03月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】2次元に拡張された表面の各ペア及び0.01mm≦D≦5mmの厚さDを有する二以上のワークピースのバッチに関するヒーター及び/又はクーラーチャンバであって、
-1つの単一の金属片で、又は、熱的に共通の挙動を示しこのような等しい単一のピースの金属ブロック又は塊とは無視できるほど異なるのみである、二以上の熱的に結合した金属部品で作製された、熱貯蔵ブロックと;
-前記熱貯蔵ブロックに含まれるスリットポケットであって、
各々のスリットポケットは、その中に単一の前記ワークピースを適合するように寸法付けられ、
スリットポケット平面に沿って伸び、
少なくとも1つのワークピースハンドリング開口部を有し、
前記スリットポケットと前記ワークピースとの間で非接触のやりかたで、前記ワークピースの内の一つを囲むように調整され、
前記スリットポケット平面と垂直であり、且つ前記スリットポケット平面と平行と考えられる前記スリットポケットの広がり表面積の少なくとも30%に沿った、前記スリットポケットの各々の高さhが、2.5mm≦h≦50mmであるものであり、
二以上の平行なスリットポケットは、前記スリットポケットと垂直な方向において積み重ねられている、
スリットポケットと;
-前記スリットポケットの各々においてワークピースを支持するためのワークピース支持部と;
-前記ブロックの外側の大気に関して個別のワークピースハンドリング開口部を解放する又は覆うように制御するドア装置と;
-前記積み重ねられたスリットポケットの側壁方向に沿って伸び、且つ、前記ブロックの外表面に沿った、前記ブロックへの少なくとも1つのヒーター及び/又はクーラー接触面と、を含む、チャンバ。
IPC (6件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, C23C 14/56 ( 200 6.01)
, C23C 14/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/203 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 N
, H01L 21/68 A
, C23C 14/56 F
, C23C 14/02 A
, H01L 21/203 Z
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (2件)
前のページに戻る
