特許
J-GLOBAL ID：202103020909200166
多変量バッチ制御解析のためのステージを画定する方法及び装置、製造物品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-181288
公開番号（公開出願番号）：特開2017-062786
特許番号：特許第6955309号
出願日： 2016年09月16日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プロセッサによってバッチステージパラメータの現在値に基づいて現在のバッチプロセスにおける現在のステージを判定することであって、前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記現在のバッチプロセスにおけるプロセスパラメータに関連付けられたプロセス制御データに基づいて判定され、前記現在のステージは、バッチレシピにおける手順、ユニット手順、操作、またはフェーズの開始または終了のうちの少なくとも1つによって画定されるバッチイベントから独立して判定される、判定することと、
前記プロセッサによって前記現在のバッチプロセスにモデルを適用することであって、前記モデルは、前記現在のステージに対応する、適用することと、
前記バッチステージパラメータが前記現在値に初めて対応するときに基づいて、前記現在のステージの開始を判定することと、
前記バッチステージパラメータが前記現在値にもはや対応しなくなるときに基づいて、前記現在のステージの終了を判定することと、
前記現在のステージの前記開始及び前記終了を、前記プロセス制御データと共に、連続ヒストリアンデータベース内に記憶することと、
を含む、方法。
IPC (2件)：
G05B 23/02 ( 200 6.01)
, G05B 17/02 ( 200 6.01)
G05B 23/02 G
, G05B 17/02
