特許
J-GLOBAL ID：202103020953558930
走査顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 森田 拓
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-564073
特許番号：特許第6835745号
出願日： 2016年06月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 走査顕微鏡(20)であって、
照射光路(26)上に配置された、照射光束(24)を試料(52)に集光するための対物レンズ(48)と、
前記対物レンズ(48)によって集光された前記照射光束(24)が前記試料(52)上にて走査移動を行うように前記照射光束(24)を偏向させるための、前記照射光路(26)上において前記対物レンズ(48)に前置された走査ユニット(38)と、
検出光路(66)上に配置された、前記走査ユニット(38)によって偏向されなかった検出光束(54)を受光するための検出ユニット(58)と、
を備えており、
前記検出ユニット(58)は、前記検出光束(54)のスペクトル操作を行うために、少なくとも1つのスペクトル選択性素子(10)を備えており、
前記スペクトル選択性素子(10)は、スペクトルエッジを有する作用面(12)を有し、
前記スペクトルエッジは、前記作用面(12)上の前記検出光束(54)の入射の場所によって変化する走査顕微鏡において、
前記スペクトル選択性素子(10)の作用面(12)は、前記検出光路(66)上の対物レンズ瞳(50)の像の場所に前記検出光路(66)の光軸に対して垂直に配置されており、前記検出光路(66)の前記光軸を基準とした入射角は、35°以下であり、前記入射角にて、前記検出光束(54)は、前記作用面(12)に入射し、前記入射角は、前記照射光束(24)の走査移動の結果として変化し、
または、
前記スペクトル選択性素子(10)の作用面(12)は、前記検出光路(66)上の位置であって、前記検出光束(54)が前記作用面(12)に入射する入射角の、前記照射光束(24)の走査移動の結果として生じる変化に起因する、前記作用面(12)のスペクトルエッジの単調に推移する変化が、前記作用面(12)のスペクトルエッジの逆方向の変化によって少なくとも部分的に補償される位置に前記検出光路(66)の前記光軸に対して斜めに配置されており、前記逆方向の変化は、前記検出光束(54)が前記作用面(12)に入射する場所の変化によって生じるものである、
ことを特徴とする走査顕微鏡(20)。
IPC (4件)：
G02B 21/00 ( 200 6.01)
, G02B 21/06 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
, G01J 3/36 ( 200 6.01)
G02B 21/00
, G02B 21/06
, G02B 5/20
, G01J 3/36
審査官引用 (1件)
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レーザ走査型顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-140789
出願人：オリンパス株式会社
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