特許
J-GLOBAL ID：202103021420758063
チャンクポリシリコンまたは粒状ポリシリコンを結晶成長チャンバの中に選択的に供給するためのシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
山田 卓二
, 中野 晴夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-528207
特許番号：特許第6867388号
出願日： 2016年08月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 融液から単結晶インゴットを成長させるための成長チャンバにポリシリコンを供給するポリシリコン供給装置であって、
ポリシリコンを前記成長チャンバに供給するための管と、
粒トレイおよびチャンクトレイのうちの1つを受け取る1つ以上の支持レールと、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイのいずれかに選択的に供給するように前記1つ以上の支持レールの上に配置された供給材料容器と、
を含み、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイは、前記管に対して回転可能であり、ポリシリコンが前記成長チャンバに入ることができる供給位置と、前記粒トレイまたは前記チャンクトレイが交換可能な停止位置と、の間で回転する、ポリシリコン供給装置。
IPC (2件)：
C30B 29/06 ( 200 6.01)
, C30B 15/00 ( 200 6.01)
C30B 29/06 502 A
, C30B 15/00 Z
