特許
J-GLOBAL ID：202103021443348377
インプリント装置、および物品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 大塚 康弘
, 高柳 司郎
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-132779
公開番号（公開出願番号）：特開2017-038042
特許番号：特許第6799397号
出願日： 2016年07月04日
公開日（公表日）： 2017年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 モールドを用いて基板上のインプリント材を成形するインプリント装置であって、
前記インプリント材を撮像する撮像部と、
前記モールドと前記インプリント材とが接触している状態で、前記撮像部を走査させながら前記撮像部に前記インプリント材を撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記インプリント材の成形に関する情報を得る制御部と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 Z
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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