特許
J-GLOBAL ID：201203011478702356

ステージ制御用光学システム

発明者：
シューメイカー,フィリップ・ディ

シューメイカー,フィリップ・ディ について

, 
モカベリ,ババク

モカベリ,ババク について


出願人/特許権者：
モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド

モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-534488
公開番号（公開出願番号）：特表2012-507173
出願日： 2009年10月20日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
インプリント・リソグラフィは、インプリントの際にテンプレートと基板間の正確なアライメントから利益を得る。テンプレートと基板上の表示から生じるモアレ信号が、高帯域幅の低遅延信号を提供するライン走査カメラとデジタル・マイクロミラー装置(DMD)を含むシステムによって取得される。取得した後、モアレ信号をそのまま使用して、個別の位置/角度エンコーダの必要なしにテンプレートと基板を位置合わせすることができる。
請求項（抜粋）：
テンプレートと基板との位置合わせをする位置合わせ方法であって、 前記基板と前記テンプレートとが対応するフィーチャを有し、デジタル・マイクロミラー装置(DMD)によって前記テンプレートを介して前記基板を走査する段階と、 前記基板上の前記フィーチャと前記テンプレート上の前記フィーチャ間の光の相互作用により生じるモアレ信号を測定する段階と、 前記測定されたモアレ信号に基づいてミスアライメントを決定する段階と を含む、位置合わせ方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10 ,  G01B 11/00
FI (5件)：
H01L21/30 502D ,  G02B26/08 E ,  G02B26/10 104Z ,  H01L21/30 507L ,  G01B11/00 A
Fターム (33件)：
2F065AA03 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC17 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL11 ,  2F065LL14 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ31 ,  2H045AB01 ,  2H141MA13 ,  2H141MB24 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141ME01 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF01 ,  2H141MG08 ,  2H141MZ16 ,  5F146AA31 ,  5F146CB33 ,  5F146FB14
引用特許：
出願人引用 (5件)
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