真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発

体系的課題番号：JPMJCR0743
実施期間：2007 - 2013
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 特任教授/名誉教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJCR0743
研究概要：

極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。