研課題
J-GLOBAL ID:202104001001581679
研究課題コード:07100028
真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発
体系的課題番号:JPMJCR0743
実施期間:2007 - 2013
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 大学院工学研究科, 特任教授/名誉教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0743
研究概要:
極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
研究制度:
>
>
上位研究課題:
次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
研究所管機関:
報告書等:
前のページに戻る