研課題
J-GLOBAL ID：202104001619431147
研究課題コード：07051145
0.5Å分解能物質解析電子顕微鏡基盤技術の研究
体系的課題番号：JPMJCR0405
実施期間：2004 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院理工学研究科, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0405
研究概要：
従来、電子顕微鏡の分解能はレンズの収差により制限されていました。本提案では、照射系と結像系の両方に収差補正レンズを搭載し、冷陰極電界放出型電子銃から出たエネルギーの揃った電子を利用して、水素原子半径に等しい0.05nmの分解能をもつ電子顕微鏡を開発します。これは英米で開発された装置をしのぐ、世界最高の分解能であり、炭素、窒素、酸素などの軽元素の位置や挙動を調べることが可能になります。
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物質現象の解明と応用に資する新しい計測・分析基盤技術
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