研課題
J-GLOBAL ID:202104002783110757  研究課題コード:15658652

機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究

体系的課題番号:JPMJTM15GX
実施期間:2015 - 2016
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 大学院自然科学研究科, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM15GX
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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