研課題
J-GLOBAL ID：202104002783110757  研究課題コード：15658652

機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究

体系的課題番号：JPMJTM15GX
実施期間：2015 - 2016
実施機関 (1件)：
新潟大学

新潟大学 について


研究責任者：
安部 隆

安部 隆 について

(
新潟大学

新潟大学 について

, 大学院自然科学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM15GX
タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
機能材料

機能材料 について

, 
MEMS

MEMS について

, 
アシスト

アシスト について

, 
反応性イオンエッチング

反応性イオンエッチング について

, 
試験

試験 について

, 
研究

研究 について

研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

産学が連携した研究開発成果の展開 について

＞
研究成果展開事業

研究成果展開事業 について

＞
マッチングプランナープログラム

マッチングプランナープログラム について


研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る

TOP

BOTTOM