研課題
J-GLOBAL ID:202104003212256980  研究課題コード:12101156

新しい微小プラズマ閉じ込め加熱技術を用いた高変換効率EUV光源の実証

実施期間:2012 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 大学院総合理工学研究科, 教授 )
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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