研課題
J-GLOBAL ID:202104003687810167  研究課題コード:17940903

Pd/Tiコーティングを利用した長寿命低活性化温度大排気速度非蒸発ゲッターポンプの開発

体系的課題番号:JPMJTM17DJ
実施期間:2017 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 物質構造科学研究所, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM17DJ
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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