液晶による位置制御用精密測長器

実施期間：2001 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 教授 )
研究概要：

液晶の電気光学効果を利用するサーボ機構の高精度測長技術を研究開発する。本技術によって、サーボに目標を直接指示できると共に、光センサーの出力から移動量の高精度ナノメートル位置検出が可能である。半導体生産装置、光・ハードディスク欠陥装置、レーザ工作機械、3次元スキャナ等の精密位置決めへの利用が期待される。

, ,

研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る