研課題
J-GLOBAL ID:202104005693574427
研究課題コード:7700005144
気体の往復脈動流量発生装置の開発
実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 精密工学研究所, 助教授 )
研究概要:
燃料電池のガス流量、半導体製造過程における不活性ガス流量等の計測制御には、高応答の気体用流量計が必要である。しかし、気体用流量計の応答性を評価する方法がISO やJIS で全く規定されていない。これは、圧縮性流体の密度が温度と圧力によって変化することから、その計測が困難であることに起因する。申請者らは、容器内の状態変化をほぼ等温にできる等温化圧力容器を開発し、容器内の圧力変化から流量が測定できる方法を確立した。さらに、本容器内の圧力をサーボ弁で制御することによって、一方向の基準となる脈動流量が発生可能な装置を開発した。しかし、気体用流量計の特性評価では双方向の流れに対する試験が必要となる。そこで本申請では、一方向の脈動発生が可能な装置を改良し、サーボ弁から大気に放出する流れと大気から負圧容器へ充填する流れの2つの空気圧回路を設け、その回路を適切に切り換える制御系を構成することで、任意の基準となる往復流を含む脈動流量が発生可能な装置(気体のファンクションジェネレーター)を開発する。本装置は今までに有効な方法がない気体用流量計の双方向の流れも含めた動特性試験が可能となる画期的な装置である。
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