研課題
J-GLOBAL ID：202104006980417835
研究課題コード：09154512
大気圧プラズマ科学に基づく新たなSi材料創成プロセスの開発
体系的課題番号：JPMJCR09Q7
実施期間：2009 - 2014
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院工学研究科, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR09Q7
研究概要：
本研究は、大気圧近傍の高圧力プラズマを用いて、廉価な低純度シリコン(Si)原料から太陽電池用Siを製造するプロセスを開発するものです。プラズマ内部や材料表面で生じる現象を原子レベルで解明し、高度に制御する手法を確立することにより、低純度Si原料からのシラン生成反応を超高速化します。これにより新しい高純度Si材料創成プロセスを開発し、太陽電池用Si材料不足の解消と太陽電池製造コストの大幅な低減に貢献します。
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太陽光を利用した独創的クリーンエネルギー生成技術の創出
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