表面分析及びナノ計量技術の前標準化

実施期間：2009 - 2012
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 共用基盤部門, 部門長 )
研究概要：

本研究は表面電子分光法、走査プローブ顕微鏡、ラマン分光法等による先端材料表面の定量的計測法を開発することを目的とする。具体的には日本側は全体を統括すると共に、主に計測・評価方法およびナノマテリアル標準試料の開発を、中国側はシミュレーションによる評価および計測を、韓国側は主に多層薄膜標準試料の作製・評価および計測を担当し、表面分析法およびナノ計量技術の前標準化研究を行う。本共同研究で日中韓3ヵ国の交流を通じて相互的に取り組むことで、材料の表面評価用標準試料および分析法の標準化がなされ、ナノマテリアルを含む広範囲の材料の精密な分析・評価が可能となる。この開発した方法を広く普及させるために、VAMASへプロジェクト提案を行い、国際標準化を目指す。