変形可能なガラス基板上へのダブルゲート微結晶Si TFTを利用したインバータの試作

実施期間：2007 - 2007
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部電子工学科, 助教授 )
研究概要：

変形可能なガラス基板上にプラナー型自己整合メタルダブルゲート微結晶Si 薄膜トランジスタ(TFT)を形成し、移動度50cm2/Vs の低温 poly-Si TFT に匹敵する電流駆動能力を有するTFT を低コストで実現することを目指す。さらに回路の基本となるインバータを試作してその特性・性能を把握する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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