研課題
J-GLOBAL ID：202104012095711300
研究課題コード：07051230
ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
体系的課題番号：JPMJPR06N8
実施期間：2006 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院工学研究科, 助手 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJPR06N8
研究概要：
数十ミリメートルオーダーのラージスケールにおいて、ナノ精度の表面粗さと形状精度を持つマスターを作製し、それをナノ精度で転写することにより、ナノ精度の形状と表面粗さをもつ表面を量産できる、一連のプロセスを構築することを目的としています。反射型光学素子に飛躍的な性能向上と低価格化をもたらす、革新的なナノ精度表面生産プロセスの構築を目指します。
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上位研究課題：
ナノ製造技術の探索と展開
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