研課題
J-GLOBAL ID:202104012095711300  研究課題コード:07051230

ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築

体系的課題番号:JPMJPR06N8
実施期間:2006 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院工学研究科 )
研究概要:
数十ミリメートルオーダーのラージスケールにおいて、ナノ精度の表面粗さと形状精度を持つマスターを作製し、それをナノ精度で転写することにより、ナノ精度の形状と表面粗さをもつ表面を量産できる、一連のプロセスを構築することを目的としています。反射型光学素子に飛躍的な性能向上と低価格化をもたらす、革新的なナノ精度表面生産プロセスの構築を目指します。
研究制度:
上位研究課題: ナノ製造技術の探索と展開
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構
報告書等:

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