研課題
J-GLOBAL ID:202104013285324393  研究課題コード:15658604

リソグラフィー用帯電防止剤を指向した導電性高分子の開発

体系的課題番号:JPMJTM15GV
実施期間:2015 - 2016
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 工学研究科, 助教 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM15GV
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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