研課題
J-GLOBAL ID：202104014088691810
研究課題コード：14531864
ナノ慣性計測デバイス・システム技術とその応用創出
体系的課題番号：JPMJCR1433
実施期間：2014 - 2021
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, フロンティア研究機構, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR1433
研究概要：
「ナノG(加速度)計測」が産み出す新機能実現を目指します。デバイス・回路・モジュールレベルではCMOS-MEMS異種機能集積プロセスとその統合解析・設計技術による慣性センサの超小型化超低消費電力化とこれを利用したナノGレベルの超高感度計測を行います。材料レベルでは慣性センサに利用するAu合金錘のナノ結晶構造制御による機械的性質制御、さらに応用レイヤでは人体動態計測とその意味理解に基づくヘルスケア応用、また産業用展開に取り組みます。
タイトルに関連する用語 (4件)：
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素材・デバイス・システム融合による革新的ナノエレクトロニクスの創成
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