研課題
J-GLOBAL ID:202104014978149494  研究課題コード:08001104

光機能性酸化膜の低温成長と発光デバイスへの応用

実施期間:2007 - 2007
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院工学研究科マテリアル生産科学専攻, 助手 )
研究概要:
本研究では、発光機能を有する透明酸化物の低温成膜技術を開発し、フレキシブル基板上の新規発光デバイスの作製を目的とする。炭素含有Si酸化膜を透明酸化物母体と位置づけ、高効率発光が得られる希土類元素を母体中に添加することで新規光機能性酸化物を創製する。希土類添加機能性酸化膜の作製は、これまでに開発したプラズマCVD法により60°C以下の低温一貫成長で行い、可視光領域のデバイスの作製を最終目標とする。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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