電子ビームリソグラフィを用いた連続ナノパターニング用ローラーモールドの実用化研究

実施期間：2014 -
実施機関 (2件)： ,
企業責任者：
研究責任者： ( , 高度産業科学研究所, 教授 )

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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