研課題
J-GLOBAL ID:202104017915126825  研究課題コード:14529955

電子ビームリソグラフィを用いた連続ナノパターニング用ローラーモールドの実用化研究

実施期間:2014 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 高度産業科学研究所 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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