研課題
J-GLOBAL ID:202104018542131129
研究課題コード:7700000268
シリコン超微粒子の量子効果を探求する
体系的課題番号:JPMJPR92F2
実施期間:1992 - 1995
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 工学部, 助教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJPR92F2
研究概要:
プラズマCVD法において原料ガスをパルス供給するディジタルプロセスにより結晶粒径を制御したシリコン超微粒子を作製し、分光学的手法を用いて超微粒子間の量子力学的相互作用を含む3次元量子効果を解析します。
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研究制度:
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上位研究課題:
構造と機能物性
研究所管機関:
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