3次元化学状態解析硬X線光電子分光装置

体系的課題番号：JPMJSN05A6
実施期間：2005 - 2009
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 共用ビームステーション, ステーション長 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN05A6
研究概要：

ナノデバイス・ナノ材料の3次元化学結合状態を分析できる硬X線光電子分光装置を開発します。開発では、電子の脱出角依存性を試料の角度を変えることなく一度に測定できる広角度アクセプタンス対物レンズを使用します。さらに収束硬X線の試料上での2次元走査を加えて、3次元化学状態分析を実現します。高密度集積回路、磁気薄膜電子デバイス等新規ナノ材料の分析装置として活用されます。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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