研課題
J-GLOBAL ID:202104020034814266  研究課題コード:13425521

リソグラフィ用レジストの高性能化モジュール

実施期間:2013 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 大学院工学研究科/産業科学研究所, 特任教授/招へい教授 )
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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