超精密ナノ加工計測装置の開発

実施期間：2003 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 助教授 )
研究概要：

直径数ミクロンの微粒子を光放射圧で制御し、プローブ球として利用することにより、高感度なナノ3次元の位置検出マイクロプローブ技術を開発し、さらにこれを超精密加工機に搭載して加工-計測機能が一体化された超精密ナノ加工計測装置を構築する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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