ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の熱容量と面内熱伝導率の同時評価【JST・京大機械翻訳】

Yates Luke; Cheng Zhe; Bai Tingyu; Hobart Karl; Tadjer Marko; Feygelson Tatyana I.; Pate Bradford B.; Goorsky Mark; Graham Samuel

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202200827110470 整理番号：22P0162413

ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の熱容量と面内熱伝導率の同時評価【JST・京大機械翻訳】

Simultaneous Evaluation of Heat Capacity and In-plane Thermal Conductivity of Nanocrystalline Diamond Thin Films

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手
高度な検索・分析はJDreamⅢで

この文献はプレプリントです。プレプリントについてはこちらをご確認ください。

著者 (9件)： , , , , , , , ,
資料名：
発行年： 2020年06月22日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年06月22日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ワイドバンドギャップ電子素子は,サイズ低減とパワーハンドリング能力の両方で進歩を続けてきたので,熱放散は重要な関心事となっている。これを緩和するために,化学蒸着(CVD)ダイヤモンドをトランジスタ基板上に直接成長することにより,これらのデバイスの熱管理のための効果的な解決策として実証した。パワーとラジオ周波数(RF)電子デバイスの鍵となる側面は,過渡スイッチング挙動を含み,デバイスの電熱応答のモデリングと予測における熱容量と熱伝導率の温度依存性の理解の重要性を強調する。CVDダイヤモンドとエレクトロニクスの間の界面近くの複雑な微細構造のため,両方の特性を同時に測定することは困難である。本研究では,1um厚さのCVDダイヤモンド膜の面内熱伝導率と熱容量を同時に測定するために時間領域熱反射(TDTR)を用い,また,温度依存測定を行うための効果的なヒータとしてポンプを使用した。結果は,平面熱伝導率が302から327Kの温度範囲にわたってKあたり平均103Wでわずかに変化し,一方,比熱容量は同じ範囲で強い温度依存性を持ち,文献中の自然ダイヤモンドの熱容量データと一致することを示した。【JST・京大機械翻訳】

, , , , , , , , , , , , ,
, , 【Automatic Indexing@JST】

固体デバイス材料

, , , ,

前のページに戻る