二硫化モリブデン膜の成長運動学とフラクタル次元の解析【JST・京大機械翻訳】

Jiang Yan; Baben Moritz to; Lin Yuankun; Littler Chris; Syllaios A. J.; Neogi Arup; Philipose Usha

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202200925610651 整理番号：21P0067387

二硫化モリブデン膜の成長運動学とフラクタル次元の解析【JST・京大機械翻訳】

Analyzing Growth Kinematics and Fractal Dimensions of Molybdenum Disulfide Films

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発行年： 2020年12月10日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年12月10日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

遷移金属-ジカルコゲン化物層の大面積成長の実現におけるアルカリハライドの積極的な役割を通して,膜成長運動学はまだ完全には確立されていない。本研究では,塩化ナトリウム(NaCl)による基板の種々の前処理条件下で成長させた膜に対するMoS_2形態の系統的解析を示した。最適NaCl濃度では,単層のドメインサイズはMoS_2の無アルカリ成長と比較してほぼ2桁増加した。結果は,単層と多層を有する基板のフラクタル次元と面積範囲の間の逆関係を示した。Fact-Sageソフトウェアを用いて,成長温度における気相中のMo-およびS-系化合物の分圧を決定するNaClの役割を明らかにした。アルカリ塩の存在はMoとS分圧に影響することによりドメインサイズと膜形態に影響を与えることを示した。同じ成長条件下でのアルカリフリー合成と比較して,NaClにより支援されたMoS_2膜成長は,単分子層で覆われた基板の約81%をもたらした。理想的な成長条件下で,最適NaCl濃度において,核形成は抑制され,ドメインは拡大し,MoS_2単分子層の大きな面積成長をもたらした。単分子層はアルカリ金属とハロゲン原子との意図的なドーピングがなく,高い結晶性と優れたオプトエレクトロニクス品質を示した。【JST・京大機械翻訳】

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その他の無機化合物の薄膜 , その他の無機化合物の結晶成長 , 薄膜成長技術・装置

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