抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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十分に広い範囲の適用制御信号(制御電圧)に対して,MEMSと圧電変形可能ミラー(DM)は非線形挙動を示す。非線形アクチュエータは,非線形アクチュエータ結合,非線形アクチュエータ変形特性,および圧電DMsの場合,ヒステリシスを示した。さらに,多くの状況において,DM挙動は時間とともに変化し,これは観測データに基づいてDMモデルを更新する手順を必要とする。適切にモデル化されなければ,制御アルゴリズム,非線形性,および時変DM挙動を設計するとき考慮されないならば,適応オプティックス(AO)システムの達成可能な閉ループ性能を著しく劣化できる。DM制御のための広く使用された手法は,影響行列の形で事前推定線形時間不変DMモデルに基づいている。しばしば,これらのモデルはシステム運転中に更新されていない。その結果,非線形DM挙動が広い動作範囲を有する制御信号によって励起されるか,またはDM挙動が時間とともに変化するとき,線形制御方法に依存する最先端のDM制御アプローチは,AOシステムの満足な閉ループ性能を作り出すことができないかもしれない。これらの重要な事実によって動機づけられて,著者らはデータ駆動DM制御のための新しい方法を提示する。本手法は,DMモデルを動的に更新するための再帰的最小二乗法と簡単な開ループ制御法を組み合わせた。DMモデルは動的に変化するDM動作点に基づいて絶えず更新される。すなわち,提案方法は,システム操作の間,制御動作とDMモデルの両方を更新する。140のアクチュエータを有するBostonマイクロマシンMEMS DMに関するこの手法を実験的に検証した。この原稿で報告された予備実験結果は,DM制御のために開発した方法を利用するための良好な可能性を示した。【JST・京大機械翻訳】
