in situ S/TEMによるMEMS実験のための無汚染電子透明金属試料調製法【JST・京大機械翻訳】

Tunes Matheus A.; Quick Cameron; Stemper Lukas; Coradini Diego S. R.; Grasserbauer Jakob; Dumitraschkewitz Phillip; Kremmer Thomas M.; Pogatscher Stefan

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202202021314842 整理番号：22P0215407

in situ S/TEMによるMEMS実験のための無汚染電子透明金属試料調製法【JST・京大機械翻訳】

A contamination-free electron-transparent metallic sample preparation method for MEMS experiments with in situ S/TEM

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発行年： 2020年12月04日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年12月04日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

微小電気機械システム(MEMS)は,超高速加熱および消光速度,ならびに複雑な電気化学的環境の下で,極端な材料動力学のような広範囲の異なる条件で,ナノスケールでの材料に関するその場実験を可能にするため,材料科学および冶金における地上破壊基礎研究を現在支持している。MEMS e-チップのためのElectron-透明試料調製は,既存の方法論が汚染物質を導入でき,その結果の実験と分析を破壊するので,この技術の課題として残っている。ここでは,重要な汚染のないMEMS eチップのための簡単で迅速な電子透明試料調製のための方法論を紹介した。交差AlMgZn(Cu)合金の熱処理中に,電子マイクロスコープ内のMEMS e-チップ実験中の試料の品質と性能を評価した。【JST・京大機械翻訳】

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固体デバイス製造技術一般

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