低インピーダンスフレキシブル微小電極のウエハスケール製造のためのスパッタ多孔質Pt【JST・京大機械翻訳】

Fan, B.; Rodriguez, A. V.; Vercosa, D. L.; Kemere, C.; Robinson, J. T.

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202204935821974 整理番号：22P0224964

低インピーダンスフレキシブル微小電極のウエハスケール製造のためのスパッタ多孔質Pt【JST・京大機械翻訳】

Sputtered porous Pt for wafer-scale manufacture of low-impedance flexible microelectrodes

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手
高度な検索・分析はJDreamⅢで

この文献はプレプリントです。プレプリントについてはこちらをご確認ください。

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
発行年： 2020年05月22日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年05月22日
JST資料番号： O7001B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

in vivoでの個々の細胞からの電気的活動の記録は,基本的な神経科学のための重要な技術であり,臨床応用が増加している。独立した記録チャンネルの数およびこれらの記録の質を最大限にするために,研究者は組織損傷を最小化し,個々のニューロンからシグナルを分離できる小型で柔軟な電極にしばしば変わる。しかし,これらの小さな電極を作成するときの1つの課題は,組織中で安定な表面コーティングを適用することにより,低い界面インピーダンスを維持することであり,製造プロセスをあまり複雑にしないことである。ここでは,標準的な微細加工装置を用いてウエハスケールで低インピーダンス電極を作製するために高圧Ptスパッタリングプロセスを用いた。直接スパッタPtは,フラットなPtと比較して,電極インピーダンスを5~9倍低下させる信頼できてよく制御された多孔性コーティングを提供し,柔軟な電極を作製するために使用される微細加工技術と互換性がある。これらの多孔質Pt電極は理論的予測と一致する熱雑音の低減を示した。さらに,これらの電極がラット皮質に移植され,単一単位活性を記録し,コーティングの完全性を破壊することなく全て除去できることを示した。また,電極(表面積に加えて)の形状が,特徴サイズが数十ミクロンのオーダーにあるとき,電極インピーダンスに著しい影響を及ぼすことを示した。全体として,多孔質Ptは,柔軟な神経プローブを生産するための既存のプロセスにシームレスに統合できる低インピーダンス電極を製造するための有望な方法である。【JST・京大機械翻訳】

, , , , , , , , , , , , , ,

生体計測

, , , , , ,

前のページに戻る