多孔性ナノ構造薄膜の2Dバリスティック堆積のシミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Bukkuru S.; Hemani H.; Haque S. M.; Alphonsa J.; Rao K. Divakar; Warrier M.

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202207393297130 整理番号：21P0062442

多孔性ナノ構造薄膜の2Dバリスティック堆積のシミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Simulation of 2D ballistic deposition of porous nanostructured thin-films

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発行年： 2020年11月20日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2021年10月21日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

薄膜成長の弾道堆積における幾何学的効果を研究するために,「二次元弾道堆積」(2D-BD)コードを開発した。円形ディスクを,薄膜の発展中のシャドウイング効果を理解するために,堆積種として用いた。10 ̄0のステップで20 ̄0-80 ̄0の堆積角に対して2D-BDシミュレーションを行った。標準偏差1 ̄0,2 ̄0,4 ̄0,6 ̄0および10 ̄0を,薄膜の微細構造に及ぼす影響を理解するために,ディスクサイズ1.5オーバーセット°Aの堆積の各角度に対して用いた。成長の角度,多孔性および表面粗さ特性を,蒸着の前述の角度およびそれらの標準偏差に対して研究した。弾道堆積におけるサイズの影響を理解するために,異なるサイズのディスクによる弾道堆積シミュレーションを行った。このコードからの結果を利用可能な理論的および実験結果と比較した。このコードを用いてコリメートすれすれ角堆積(C-GLAD)実験をシミュレーションした。堆積物の種々の特徴に対する良好な定性的整合を得た。【JST・京大機械翻訳】

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, 【Automatic Indexing@JST】

金属薄膜 , 酸化物薄膜

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