陰極線ルミネセンス温度測定によるナノスケール熱輸送のプロービング【JST・京大機械翻訳】

Mauser Kelly W.; Sola-Garcia Magdalena; Liebtrau Matthias; Damilano Benjamin; Coulon Pierre-Marie; Vezian Stephane; Shields Philip; Meuret Sophie; Polman Albert

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202207914272562 整理番号：21P0071889

陰極線ルミネセンス温度測定によるナノスケール熱輸送のプロービング【JST・京大機械翻訳】

Probing nanoscale thermal transport with cathodoluminescence thermometry

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発行年： 2020年12月29日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2020年12月29日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

熱特性は,統合電子回路のようなナノスケール構造のデバイスの効率と感度に,大きな影響を与える。半導体ナノ構造に対する多くの熱伝導率測定が存在するが,光の回折限界,変換器層の必要性,プローブの低速走査速度,超薄試料要求,あるいは広範な作製によって妨げられる。ここでは,電子カスケードによって制限された空間分解能を有するGaNナノワイヤにおけるバンドギャップカソードルミネセンスの測定から温度を抽出することによりこれらの限界を克服し,これを用いて3つの新しい方法で19~68W/m×Kの範囲の熱伝導率を決定した。電子ビームは温度プローブとして同時に作用し,定常状態法を用いて熱伝導率を測定する制御デルタ関数様熱源として,パルス電子ビーム励起を用いた周波数領域法を導入した。異なる熱伝導率測定が,比較できる誤差内で一致した。著者らの結果は,集積回路と半導体ナノデバイスの迅速,その場,高分解能測定を可能にする熱特性を測定する新しい方法を提供し,電子ビームベースのナノスケールフォノン輸送研究に対するドアを開いた。【JST・京大機械翻訳】

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, , , 【Automatic Indexing@JST】

その他の熱的変量の計測法・機器 , 固体デバイス製造技術一般 , 半導体結晶の電気伝導

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