ネマチック液晶の高品質アラインメントのための新しい技術としての非線形レーザリソグラフィー【JST・京大機械翻訳】

Pavlov Ihor; Rybak Andrey; Dobrovolskiy Andrii; Kadan Volodymyr; Blonskiy Ivan; Ilday Fatih O; Kazantseva Zoya; Gvozdovskyy Igor

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202208887566385 整理番号：21P0005442

ネマチック液晶の高品質アラインメントのための新しい技術としての非線形レーザリソグラフィー【JST・京大機械翻訳】

Nonlinear laser lithography as a new technology for the high-quality alignment of nematic liquid crystals

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発行年： 2017年11月07日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2017年11月09日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

※このプレプリント論文は学術誌に掲載済みです。なお、学術誌掲載の際には一部内容が変更されている可能性があります。

液晶の整列のための今日の2つの主でよく研究された方法,すなわち,ラビングと光整列技術,すなわち,整列層の異方性特性の変化とメソ相における液晶分子の長距離相互作用を導くことはよく知られている。本論文では,ネマチック液晶の整列の新しい展望法として,レーザ誘起周期的表面構造化に基づく大面積マイクロおよびナノ溝作製のための高速,比較的低コストの方法として最近提示された非線形レーザリソグラフィー技術の使用を提案した。920nm周期溝を,非線形レーザリソグラフィーによって処理したTi層上に形成し,整列層として研究した。Ti層の周期的構造のリグニン特性を複合ねじれLCセルを用いて調べた。さらに,微細構造化したTiの層を,高分子膜のアニーリングで酸化アニリン-ポリイミド膜で被覆し,その後,更なる処理を行わなかった。Ti層の加工中のレーザビームの走査速度と出力に対するLCセルのねじれ角の依存性を研究した。周期的微細構造を持つTi層の方位固定エネルギーを計算した。微細構造化Ti層の最大方位固定エネルギーは,約4.6×10 ̄-6J/m ̄2であり,これは光整列技術に匹敵した。周期的微細構造化Ti層上へのポリイミド膜の堆積後,方位固定エネルギーの~1×10 ̄-4J/m ̄2への利得効果を観測した。また,整列表面のAFM研究を行った。【JST・京大機械翻訳】

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固体デバイス製造技術一般 , 液晶一般

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